精密洗净
精密洗净
清洗方式
01. 超声波清洗
02. 酸碱浸洗
03.高压水刀
04. 喷砂
05. 干冰
清洗优势
高标纯水
作业分区
工艺参数全流程管控
高度自动化
服务机型
蚀刻ETCH
光刻PH
离子注入IMP
薄膜TF
扩散DF
| Mattson | TEL | LAM |
| GRID | DRM、SCCM、VIGUS | Kiyo、Kiyo45、Syndion、Versys Metal、Flex |
| TEL | ||
| PIQ Chamber | ||
|
POLYMIND CUP ACT-12 CUP |
| Applied | SMIT | Axcelis |
| VIISta 900XP | MC3- II/GP | Purion XE |
| VIISta3000XP | MC4-II/GP | Purion XE |
| Applied | ULVAC | NARUA |
| Versa-TTN | TA | AX30 AL |
| HOT AL | CU | H630 |
| TEL | NAURA | Kokusai |
| INDY PLUS | THEORIS 302 | TRIAS |
| FORMULA | FLOURIS 201 | SOD-CUP |
